下载通过去除衬底来制备铟铝镓氮光发射器的技术资料

文档序号:3315805

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

描述了制备InAlGaN光发射器件的设备和技术,其方法是由蓝宝石生长衬底去除光发射层。在数个实施方案中,描述了制备垂直InAlGaN光发射二极管结构的技术,这种结构可以提高性能和或降低成本。此外,还利用了金属键合、衬底剥离、和新颖的RIE器...
该专利属于惠普公司所有,仅供学习研究参考,未经过惠普公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。