下载一种基于多层平板波导结构的傅里叶变换光谱仪的技术资料

文档序号:33154832

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本发明公开了一种基于多层平板波导结构的傅里叶变换光谱仪,包括平板波导芯片、光源、动镜、定镜和光电探测器;平板波导芯片至少包括两层芯层和包层,且其中一层芯层至少具有两种不同的厚度,且其中一种厚度与其余芯层的厚度一致;在具有不同厚度的芯层的两端...
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