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本公开实施例提供一种换能器及其制备方法。换能器包括至少一个换能器元件,换能器元件包括依次层叠设置在基底一侧的第一电极层、振膜层和第二电极层,第一电极层和第二电极层相互绝缘,振膜层与第一电极层之间设置有空腔,第一电极层、空腔和第二电极层在基底...该专利属于京东方科技集团股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过京东方科技集团股份有限公司授权不得商用。
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本公开实施例提供一种换能器及其制备方法。换能器包括至少一个换能器元件,换能器元件包括依次层叠设置在基底一侧的第一电极层、振膜层和第二电极层,第一电极层和第二电极层相互绝缘,振膜层与第一电极层之间设置有空腔,第一电极层、空腔和第二电极层在基底...