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本发明涉及多晶硅生长检测技术领域，尤其是一种超声波测量铸锭多晶硅生长速率的装置及其使用方法。该装置包括铸锭炉系统，所述铸锭炉系统上方设有铸锭炉顶部玻璃观察窗口，所述铸锭炉顶部玻璃观察窗口设有与铸锭炉系统活动连接的旋转件，所述旋转件与生长速率...
该专利属于安顺学院所有，仅供学习研究参考，未经过安顺学院授权不得商用。

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