下载直拉单晶炉热屏装置及提高拉晶速率的方法的技术资料

文档序号:33148967

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本发明提供一种直拉单晶炉热屏装置及提高拉晶速率的方法,属于提高拉晶速率工艺的技术领域,包括:导流筒、水冷屏,所述导流筒位于所述水冷屏的下方,所述水冷屏的内侧壁设置有凹坑,单晶炉加热器位于炉体底部,布设于坩埚底部或侧壁上,单晶硅拉制过程中,加...
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