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本发明提供一种制造方法，可以制造只由高质量第三族氮化物晶体形成并具有较少翘曲的衬底。包括间隙的第三族氮化物层（籽晶层１２和选择生长层１５）形成在衬底（蓝宝石衬底１１）上。在含氮气氛中，使第三族氮化物层的表面与含有碱金属和选自镓、铝和铟中的至...
该专利属于松下电器产业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过松下电器产业株式会社授权不得商用。

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