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本发明提供一种光束均匀器，其能形成在长轴方向具有均匀能量分布的矩形束斑，而无需使用需要高精度制造的光学透镜。此外，本发明提供一种激光照射装置，其能照射出在长轴方向具有均匀能量分布的激光束。另外，本发明提供一种制造半导体装置的方法，其能增强衬...
该专利属于株式会社半导体能源研究所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社半导体能源研究所授权不得商用。

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