下载一种用于生长氧化锌蓝紫光半导体的液相外延法的技术资料

文档序号:3314297

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

用液相外延法生长ZnO蓝紫光半导体,该方法包括ZnO-n型半导体单晶的生长和ZnO-p型半导体单晶的生长及晶体加工三部分,其特征为:    (1)采用熔盐法生长ZnO-n型半导体单晶;    (2)采用液相外延法生长ZnO-p型半导体单晶;...
该专利属于中国科学院福建物质结构研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院福建物质结构研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。