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激光扫描折射/衍射混合f-theta镜系统技术方案
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文档序号:3314255
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本发明涉及一种光学扫描镜系统,特别是应用于可调谐二氧化碳激光器发射波长范围扫描用的f-theta镜,属于激光光学扫描镜系统。本发明包括光栏、折射透镜、折射/衍射混合透镜等,其特点是根据红外辐射的窗口特性,以及衍射浮雕面型的特点,在同光轴系统...
该专利属于南开大学所有,仅供学习研究参考,未经过南开大学授权不得商用。
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