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衬底包括：第一区域，其中设置激光器阵列芯片。衬底包括：第二区域，其中设置平面光波电路。第二区域相对于第一区域升高。在第一区域和第二区域之间的衬底中形成沟槽。衬底包括：第三区域，其中设置光纤对准装置。第三区域位于与衬底内的第二区域相邻且位于比...
该专利属于埃亚尔实验室公司所有，仅供学习研究参考，未经过埃亚尔实验室公司授权不得商用。

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