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集成有源光子器件和光电探测器制造技术
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文档序号:3314002
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一种有源光子半导体器件,如激光器、光放大器或LED,其与光电探测器单片集成。该器件包括:一个光有源区,形成于衬底之上,包括第一个电接触用于启动激发光有源区内的光子发射;一个光限制结构,通常决定了经由器件和经由所述光有源区的主要光通路;以及一...
该专利属于英坦斯有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过英坦斯有限公司授权不得商用。
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