下载左右崩边检测装置及硅片检测分选设备的技术资料

文档序号:33138734

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本实用新型提供一种左右崩边检测装置及硅片检测分选设备,其中,左右崩边检测装置包括:左检测机构、右检测机构以及滑轨;左检测机构与右检测机构设置于滑轨上,且两个检测机构相向设置,任一检测机构包括:检测相机、点激光、光源以及调节组件;光源能够相对...
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