下载氮化物外延层结构及其制作方法的技术资料

文档序号:3313809

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本发明涉及一种氮化物磊晶层结构及其制作方法,其包括:一基板,作为基材;一第一中介层,由于该基材上堆叠适当厚度的高温氮化铝铟镓(Al↓[1-x-y]Ga↓[x]In↓[y]N)材质所形成;一第二中介层,由于该第一中介层上堆叠适当厚度的再结晶氮...
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