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半导体激光器件及其制造方法技术
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文档序号:3313808
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本发明公开了一种半导体激光器件及其制造方法。在所述半导体激光器件中,第一覆层(2)、量子阱有源层(3)、第二覆层(4)以及蚀刻停止层(5)以该顺序依次堆叠在衬底(1)上。在蚀刻停止层(5)上设置由第三覆层(14)和接触层(6)组成的条状脊形...
该专利属于夏普株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过夏普株式会社授权不得商用。
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