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本发明公开了一种浮动补偿机构、涂覆装置及涂覆设备，浮动补偿机构包括：支撑座；中心管，中心管设在支撑座上，中心管的远离支撑座的一端具有球头连接部；基板，基板的靠近支撑座的一端具有容腔和连通容腔的安装孔，容腔具有圆柱面，球头连接部穿过安装孔且配...
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