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本发明涉及一种氮铝共掺杂空穴型氧化锌薄膜及其制备工艺，采用超声喷雾热解法，以Ｚｎ的有机或无机盐溶液，Ｎ的有机或无机盐溶液和Ａｌ的无机盐溶液的混合溶液为前驱体，通过调节Ｚｎ↑［２＋］∶ＮＨ↓［４］↑［＋］∶Ａｌ↑［３＋］＝１∶（１－３）∶（０...
该专利属于中国科学院上海硅酸盐研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海硅酸盐研究所授权不得商用。

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