下载用于控制辐射功率的方法和辐射源驱动设备的技术资料

文档序号:3313672

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本发明涉及一种用于控制一个辐射源(25)的辐射功率的方法,该方法包括以下步骤:a)测量该辐射源(25)的辐射功率;b)计算一个表示该辐射功率和一个设置点值(SP)之间的差异的误差值(e);c)通过将该误差值馈送给一个积分器(21)来对该误差...
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