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使用多个步骤通过外延横向过生长来生长氮化镓衬底。在具有开口区的被掩盖衬底上，选择性生长产生了第一三角形条纹，其中大多数螺位错弯曲了９０°。在第二步骤中，改变生长条件以提高横向生长速率并产生平坦的（０００１）表面。在该阶段，表面上的位错密度＜...
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