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无源微阀装置及基于液态金属制作微阀摆动件的方法制造方法及图纸
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文档序号:33136530
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本发明实施例提供一种无源微阀装置以及一种基于液态金属制作微阀摆动件的方法。本发明实施例提供的无源微阀装置包括:第一工作层、第二工作层和微阀摆动件,其中,所述第一工作层与所述第二工作层相对设置,且所述第一工作层与所述第二工作层之间形成流体通道...
该专利属于中国科学院理化技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院理化技术研究所授权不得商用。
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