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本发明涉及一种硅片四分之一裂片设备,包括划片机、半裂片装置和四分之一裂片装置;划片机包括机台、第一横梁、硅片滑台和划片激光发射器,第一横梁固定安装于机台上方,划片激光发射器可滑动的安装于第一横梁上,硅片滑台可滑动的安装于机台的上端;半裂片装...该专利属于武汉三工新能源科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉三工新能源科技有限公司授权不得商用。
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本发明涉及一种硅片四分之一裂片设备,包括划片机、半裂片装置和四分之一裂片装置;划片机包括机台、第一横梁、硅片滑台和划片激光发射器,第一横梁固定安装于机台上方,划片激光发射器可滑动的安装于第一横梁上,硅片滑台可滑动的安装于机台的上端;半裂片装...