下载活塞环外圆和端面PVD镀层制备方法的技术资料

文档序号:33132946

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本发明公开了一种活塞环外圆和端面PVD镀层制备方法,包括以下步骤:对活塞环受镀面进行清洗;将活塞环的受镀端面朝外装入夹具并间隔置于PVD设备内;对活塞环的受镀面进行刻蚀;通入氮气沉积镀层,沉积镀层时偏压20~25V,阴极电流80~100A。...
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