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本发明公开了一种工件平整度检测装置，包括载物模块、施压模块、驱动模块、数据处理模块和结果处理模块；施压模块使柔性测量传感器以恒定压力与待测工件接触；驱动模块驱动柔性测量传感器以恒定速度沿待测工件的表面运动；数据处理模块拟合柔性测量传感器的目...
该专利属于东莞职业技术学院所有，仅供学习研究参考，未经过东莞职业技术学院授权不得商用。

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