下载一种在VAD工艺中实时侦测疏松体密度的方法及其设备的技术资料

文档序号:33131816

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本发明公开了一种在VAD工艺中实时侦测疏松体密度的方法及其设备,包括:沿第一方向,侦测观测点与种子棒的第一间距A;物料在所述种子棒表面沉积形成疏松体;种子棒沿第二方向自转180
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