下载由单步MOCVD制造的掩埋异质结构器件的技术资料

文档序号:3313139

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一种器件,包括:    生长面;    在该生长面上的生长掩膜,该生长掩膜限定了具有周期性光栅轮廓的细长生长窗口;    光波导核心台面结构,其位于该生长窗口中并且具有梯形的截面形状;以及    包层,其覆盖了光波导核心台面结构并且在生长掩...
该专利属于阿瓦戈科技光纤IP(新加坡)股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过阿瓦戈科技光纤IP(新加坡)股份有限公司授权不得商用。

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