温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种氧化物缓冲层的外延结构及其制备方法，所述外延结构由下至上依次包括衬底层、非晶三元氧化物缓冲层和氧化镓结晶层；所述非晶三元氧化物缓冲层的化学结构为(Al
...
该专利属于北京航天广通科技有限公司分公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京航天广通科技有限公司分公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。