温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种基于旋转模态的MEMS陀螺，包括锚点、弹性连接于锚点外侧的至少两个驱动结构、连接于驱动结构的质量组，以及连接相邻驱动结构的耦合梁，其特征在于，质量组包括连接于驱动结构远离锚点侧的两检测组件，两检测组件分别设置于驱动结构相对的...
该专利属于瑞声开泰科技(武汉)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过瑞声开泰科技(武汉)有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。