下载具有定向平面的单晶A-平面氮化物半导体晶片的技术资料

文档序号:3313109

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一种单晶a-平面氮化物半导体晶片,其包括在结晶生长方向上的1-3个定向平面,其中a-平面({11-20}平面)形成为主平面。由于可以容易地识别平面定向,因而当在氮化物半导体晶片上形成半导体器件时可以改善精确度。...
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