专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
三星康宁株式会社
>
具有定向平面的单晶A-平面氮化物半导体晶片制造技术
>技术资料下载
下载具有定向平面的单晶A-平面氮化物半导体晶片的技术资料
文档序号:3313109
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
一种单晶a-平面氮化物半导体晶片,其包括在结晶生长方向上的1-3个定向平面,其中a-平面({11-20}平面)形成为主平面。由于可以容易地识别平面定向,因而当在氮化物半导体晶片上形成半导体器件时可以改善精确度。...
该专利属于三星康宁株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星康宁株式会社授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。