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一种抽取真空系统技术方案
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下载一种抽取真空系统的技术资料
文档序号:33126838
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本申请实施例提供一种抽取真空系统,包括:容器、真空泵、第一排气管路、前端阀门、第一气体探测器以及控制系统。容器包括真空腔和介质腔,介质腔用于盛装危险气体,真空腔与介质腔相互隔离。第一排气管路连接容器的真空腔和真空泵的入口。前端阀门设置于第一...
该专利属于中国原子能科学研究院所有,仅供学习研究参考,未经过中国原子能科学研究院授权不得商用。
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