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闪锌矿型氮化物半导体自支撑衬底、制造方法及发光装置制造方法及图纸
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文档序号:3311951
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本发明提供一种闪锌矿型氮化物半导体自支撑衬底,其中,闪锌矿型结构的氮化物半导体相对于纤维锌矿结构的氮化物半导体的比例高到能够形成实用的发光装置的比例,同时,还提供该闪锌矿型氮化物半导体自支撑衬底的制造方法和使用该闪锌矿型氮化物半导体自支撑衬...
该专利属于日立电线株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日立电线株式会社授权不得商用。
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