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衍射光学元件制造技术
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文档序号:33100999
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产生衍射光学元件(1)的方法包括以下步骤:提供具有表面(4)的至少一个基材(3),以及使用处理装置(5)在基材(3)的表面(4)中生成浮雕结构(2)。处理装置(5)包括具有半径(R)小于大约l微米的尖端(7)的探针(6)。探针(6)相对于基...
该专利属于乌得勒支大学控股有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过乌得勒支大学控股有限公司授权不得商用。
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