下载披覆机反应仓高压缓冲结构的技术资料

文档序号:33093652

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一种披覆机反应仓高压缓冲结构,包括密闭的反应仓(1),有真空抽气管道以及高压输气管道连接至反应仓(1),所述高压输气管道与反应仓(1)连接的进气口(2)处设有缓冲板(3),所述缓冲板(3)覆盖进气口(2)并向进气口(2)的径向延伸。缓冲板(...
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