下载一种多方位同步相移横向剪切干涉装置及测量方法的技术资料

文档序号:33089523

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本发明为一种多方位同步相移横向剪切干涉装置及测量方法,其克服了现有技术中存在的剪切方向单一、测量精度低的问题,本发明剪切方向任意、测量精度高、可应用于车间检测。本发明包括依次设置的测试元件、分光元件、剪切单元、分光系统、定向偏振片阵列和CM...
该专利属于西安工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安工业大学授权不得商用。

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