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本发明属于真空镀膜设备技术领域，具体涉及一种扫描磁场导向沉积镀膜的磁过滤真空沉积镀膜设备及方法，包括真空弧磁过滤装置、弧源组件和真空镀膜腔室，真空弧磁过滤装置包括过滤管道，过滤管道上设有线圈模组，过滤管道接近出口端处设置有扫描磁场发生装置。...
该专利属于苏州艾钛科纳米科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州艾钛科纳米科技有限公司授权不得商用。

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