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制备石英玻璃的装置和方法制造方法及图纸
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文档序号:33058523
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本申请提供一种制备石英玻璃的装置,该装置包括沉积组件及燃烧反应组件,燃烧反应组件沿竖直方向设置于沉积组件的上方。燃烧反应组件包括主转盘、第一驱动件及燃烧器,第一驱动件传动连接主转盘以带动主转盘转动,燃烧器连接于主转盘朝向沉积组件的一侧,燃烧...
该专利属于江苏中天科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏中天科技股份有限公司授权不得商用。
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