下载一种磁性粉体材料表面溅射沉积金属的装置及方法的技术资料

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本发明涉及真空表面镀膜技术领域,尤其涉及一种磁性粉体材料表面溅射沉积金属的装置及方法。本发明提供的装置,包括真空腔体、真空泵组、磁控溅射靶、阴极离子源、水冷阳极和设置于所述真空腔体内的样品盛放部件,所述样品盛放部件为样品滚筒,所述样品滚筒的...
该专利属于内蒙古包钢稀土磁性材料有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过内蒙古包钢稀土磁性材料有限责任公司授权不得商用。

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