下载动能辅助激光诱导等离子体加工装置及方法的技术资料

文档序号:33043396

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本发明公开了动能辅助激光诱导等离子体加工装置及方法,加工装置包括激光器、透镜组件、工作台、夹具、金属靶材和驱动器;该夹具和驱动器装设在工作台上,该金属靶材安装在驱动器上且通过驱动器带动金属靶材绕自身轴线转动;该透明工件装接在夹具上且透明工件...
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