温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
一种包覆Al的AlN纳米颗粒及其制备方法，采用物理气相沉积镀膜技术，通过制备出由AlN与Al组成的两相结构层和Al层相互交替重叠的多层结构复合薄膜获得，其中的两相结构层采用反应沉积方法，通过控制Al、N两种组分的比例以及接近Al熔点的基材温...该专利属于上海电机学院马鞍山经济技术开发区建设投资有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海电机学院马鞍山经济技术开发区建设投资有限公司授权不得商用。