下载一种快速恢复二极管的制备方法的技术资料

文档序号:33014718

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本发明公开了一种快速恢复二极管的制备方法,该方法将离子注入工艺与中子嬗变工艺相结合用于制备快速恢复二极管,在保证快速恢复二极管性能的前提下,大大简化了快速恢复二极管的制备工艺,降低了制备周期。其中,快速恢复二极管的制备方法包括:在N
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