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本实用新型公开了一种适用于兼容多种尺寸晶圆传送手臂的感应装置，包括固线机构和感应机构，所述感应机构包括固定螺管、固定板、支撑柱以及光电传感器，所述光电传感器通过支撑柱固定于所述固定板上，所述固定板开设有通线通孔和操作槽，所述固定板螺纹连接于...
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