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本发明公开了一种内凹型工件的内表面整体三维轮廓测量装置及方法,包括:用于同时生成环形光和准直光的光生成模块,且环形光的传输方向垂直于被测样件的对称中心轴,准直光的传输方向平行于所述被测样件的对称中心轴;用于接收第一反射光并生成第一物像的第一...该专利属于中国工程物理研究院激光聚变研究中心所有,仅供学习研究参考,未经过中国工程物理研究院激光聚变研究中心授权不得商用。
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本发明公开了一种内凹型工件的内表面整体三维轮廓测量装置及方法,包括:用于同时生成环形光和准直光的光生成模块,且环形光的传输方向垂直于被测样件的对称中心轴,准直光的传输方向平行于所述被测样件的对称中心轴;用于接收第一反射光并生成第一物像的第一...