下载一种基于三层结构的陶瓷压力传感器及其制备方法的技术资料

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本发明公开了一种基于三层结构的陶瓷压力传感器及其制备方法。根据本发明的陶瓷压力传感器,所述三层结构包括:依次设置的第一平板、第二平板、第三平板;第一平板和第二平板之间通过玻璃浆料烧结连接,并且第一平板和第二平板之间形成压力腔;第二平板上设置...
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