下载一种碳化硅坩埚的技术资料

文档序号:32961742

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本实用新型公开了一种碳化硅坩埚,包括,侧壁本体、底部以及坩埚罩;侧壁本体为中空圆台形且上端直径大于下端直径;底部包括圆形底面以及圆弧过渡面;圆形底面内凹,且圆弧过渡面设于所述圆形底面与侧壁本体之间,侧壁本体与圆弧过渡面以及圆形底面一体连接;...
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