下载一种基于硅片制绒槽的温度精准调节装置的技术资料

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本实用新型公开了一种基于硅片制绒槽的温度精准调节装置,包括包括温控底座,温控底座上设有用于对制绒槽进行精准控温的控温部件,控温部件包括控温控制台,温控底座上设有用于支撑控温控制台的活动支架,控温控制台内部设有凹槽,制绒槽架设在控温控制台凹槽...
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