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一种带光谱共焦测量功能的多功能装置制造方法及图纸
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下载一种带光谱共焦测量功能的多功能装置的技术资料
文档序号:32929957
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本发明公开一种带光谱共焦测量功能的多功能装置,包括:光孔径、色散部以及第二功能部,至少一组经色散部色散后的色散光的聚焦焦点的分布轴线与至少一条第二功能部检测或加工的轴线同轴,且色散部和第二功能部之间,互相没有实现功能必须的光线通过对方至少一...
该专利属于深圳立仪科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳立仪科技有限公司授权不得商用。
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