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一种大面积薄膜压力传感器制造技术
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下载一种大面积薄膜压力传感器的技术资料
文档序号:32923276
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本实用新型提供了一种大面积薄膜压力传感器。该大面积薄膜压力传感器包括:上封装层和下封装层;电极层,设置于所述下封装层上,且所述电极层与外部电源连接;纳米敏感层,以薄膜状形态形成于所述上封装层上;柔性支撑层,设置在所述纳米敏感层和所述电极层之...
该专利属于苏州慧闻纳米科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州慧闻纳米科技有限公司授权不得商用。
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