下载键合用晶圆、键合结构以及键合方法的技术资料

文档序号:32916228

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本发明提供一种键合用晶圆、键合结构以及键合方法。所述键合方法包括如下步骤:提供键合用的第一晶圆和第二晶圆;在第一晶圆和第二晶圆上形成对准标记,对准标记包括晶圆表面图形或者晶圆通孔。至少有一个晶圆具有通孔,透过该晶圆通孔可以观察到另外一个晶圆...
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