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本发明公开了一种基于MEMS的双梁式微压感测芯体，包括压力感测芯体和金属焊盘、互联引线、压阻条、敏感薄膜、钝化层、绝缘层、背腔、支撑基底支撑，压力感测芯体上除了用于后续引线键合的金属焊盘区域外，其余均被表面钝化层覆盖，金属焊盘与互联引线将四...
该专利属于明石创新产业技术研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过明石创新产业技术研究院有限公司授权不得商用。

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