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一种非球面离子束抛光方法技术
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下载一种非球面离子束抛光方法的技术资料
文档序号:32911102
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本发明涉及光学元件加工技术领域,具体涉及一种非球面离子束抛光方法。是在计算驻留时间时在不同的驻留点处使用不同的去除函数去计算。本发明可在线性三轴离子束加工设备上实现非球面修形,三轴加工系统控制相对较简单,成本低。本发明采用的步骤为:1、测算...
该专利属于西安工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安工业大学授权不得商用。
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