下载一种超细磨料与半导体晶圆的粘附力的测试方法的技术资料

文档序号:32894368

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本发明公开了一种超细磨料与半导体晶圆的粘附力的测试方法,包括如下步骤:(1)获得磨料分散液;(2)吸取上述磨料分散液滴在载玻片上并干燥,然后将胶水均匀滴在载玻片上;(3)观测干燥的分散液中的磨粒的状态、分布情况以及胶水的位置,同时选择磨粒并...
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