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一种超细磨料与半导体晶圆的粘附力的测试方法技术
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下载一种超细磨料与半导体晶圆的粘附力的测试方法的技术资料
文档序号:32894368
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本发明公开了一种超细磨料与半导体晶圆的粘附力的测试方法,包括如下步骤:(1)获得磨料分散液;(2)吸取上述磨料分散液滴在载玻片上并干燥,然后将胶水均匀滴在载玻片上;(3)观测干燥的分散液中的磨粒的状态、分布情况以及胶水的位置,同时选择磨粒并...
该专利属于华侨大学所有,仅供学习研究参考,未经过华侨大学授权不得商用。
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