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本实用新型公开了多晶硅还原炉。该多晶硅还原炉包括：炉体；以及炉顶，所述炉顶设在所述炉体的顶部，所述炉顶的内表面设有热反射涂覆层。该多晶硅还原炉的炉顶内表面设有热反射涂覆层，由此，可以有效地将热量反射至硅棒顶部，从而提高硅棒顶部的温度，使该部...
该专利属于江苏鑫华半导体材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏鑫华半导体材料科技有限公司授权不得商用。

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